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一种湿法刻蚀机台及其控制方法.pdfVIP

一种湿法刻蚀机台及其控制方法.pdf

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    本申请提供了一种湿法刻蚀机台及其控制方法。所述湿法刻蚀机台包括：刻蚀槽装置，所述刻蚀槽装置包括槽体及设置于所述槽体内的自动旋转轴和多个导流喷口；所述槽体用于容置浸泡待刻蚀的晶圆的刻蚀液；所述自动旋转轴和所述晶圆接触以使所述自动旋转轴在旋转时带动所述晶圆旋转；所述导流喷口用于所述自动旋转轴旋转时使所述槽体内的刻蚀液在晶圆表面自转。机台可通过自动旋转轴带动晶圆旋转，并结合导流喷口使刻蚀液在晶圆表面自转，提高晶圆刻蚀的均匀性，提高产品良率从而降低生产成本并提高客户满意度。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118073266A

    (43)申请公布日2024.05.24

    (21)申请号202410253407.9

    (22)申请日2024.03.06

    (71)申请人苏州迈英仕精密机械有限公司

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