涂胶显影机台.docx

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（21）申请号CN201821542299.3

（22）申请日2018.09.20

（71）申请人德淮半导体有限公司

地址223300江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

（10）申请公布号CN208903073U

（43）申请公布日2019.05.24

（72）发明人张党柱;赖政聪;古哲安;黄志凯;叶日铨

（74）专利代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)

代理人余明伟

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

涂胶显影机台

（57）摘要

本实用新型提供一种涂胶显影机台，包括晶圆承载台及检测晶圆正面的光刻胶层的检测装置；检测装置位于晶圆的上方。本实用新型的涂胶显影机台能够对完成光刻胶喷涂的晶圆第一时间进行在线检测，以及时发现存在的光刻胶涂布不良的问题，便于工作人员尽快采取补救措施，比如重新进行涂布及/或进行设备检修，避免现有技术中因无法第一时间发现光刻胶涂布不良，导致后续的返工工作量增加，以及由此引发的设备