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体声波谐振器.pdfVIP

体声波谐振器.pdf

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    本实用新型提供了一种体声波谐振器，涉及谐振器领域，为了抑制横向剪切波外溢，并且降低寄生噪声，提高体声波谐振器Q值。所述体声波谐振器包括衬底、第一电极层、压电层、第二电极层和框架结构。第一电极层、压电层和第二电极层依次层叠在衬底上；第一电极层与衬底之间具有空腔；空腔、第一电极层、压电层和第二电极层在衬底上的正投影重叠的部分为有源区。框架结构位于第二电极层上，且沿有源区的边缘延伸；框架结构的内侧轮廓和外侧轮廓均包括凹凸图形。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN221010077U

    (45)授权公告日2024.05.24

    (21)申请号202322561626.7

    (22)申请日2023.09.19

    (73)专利权人武汉光钜微电子有限公司

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