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本发明涉及外延炉辅助装置领域，公开了一种石墨下环及石墨环，包括下环本体，所述下环本体上沿一轴向开设有一第一定位孔，所述下环本体上沿第一定位孔的圆周方向设置有一下扣部，所述下扣部和下环本体均由石墨制成并围合形成有一第一L形空间，所述第一L形空间用于与石墨上环扣合并用于限制热电偶变形。上述石墨下环及石墨环通过下环本体与下扣部之间形成的第一L形空间，在便于安装热电偶的同时，第一L形空间用于支撑热电偶，使热电偶在受到反应腔内高温影响而形变时支撑下垂的热电偶，使热电偶不具备形变下垂的条件而无法下垂变形，从
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118064971A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410326732.3
(22)申请日2024.03.20
(71)申请人重庆万国半导体科技有限公司
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