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多齿磁控保持环.pdfVIP

多齿磁控保持环.pdf

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    本文描述了一种用于抛光基板的系统和方法，以及用于系统和方法的保持环组件。一种保持环组件，保持环组件被配置以被附接至承载头。保持环组件包含保持环，保持环包含下表面、内表面、外表面以及多个凹槽，其中下表面被配置以在抛光处理期间接触抛光垫，并且多个凹槽中的每一个凹槽形成在下表面中并从内表面延伸至外表面。保持环组件包含多个保持器，每个保持器包含可动齿，可动齿至少部分设置在保持环的相应凹槽中并相对于下表面可移动。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN115151376A

    (43)申请公布日2022.10.04

    (21)申请号202180016630.6(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

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