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提供一种能够准确地计算通过原子层沉积法进行的成膜中的气体供给量的技术。提供一种气体供给量计算方法，包括以下工序：从在与通过原子层沉积法进行成膜的处理容器连接的气体供给路径中流动的第一物质气体与第二物质气体的混合气体的流量减去所述第二物质气体的流量，来计算所述第一物质气体的流量；将通过基于所述原子层沉积法的多个循环来进行的成膜中的、经过了紧接在成膜开始后的规定数量的循环之后的剩余的多个循环中的所述第一物质气体的被计算出的所述流量在时间上进行积分，来计算第一累计流量；将所述第一累计流量除以所述剩余的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115315538A
(43)申请公布日2022.11.08
(21)申请号202180022579.X(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事
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