一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法.pdfVIP

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2024-05-25 发布于四川
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一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法.pdf

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本发明提供一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，涉及光刻技术领域。该种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，包括以下具体步骤：S1、选取原料：组合树脂、聚合单体、散射粒子、光引发剂、光稳定剂、增塑剂、乳酸乙酯、丙二醇甲基醚乙酸酯、活性稀释剂和溶剂，按照重量份进行称取；S2、初步搅拌混合：将S1中的组合树脂、聚合单体、乳酸乙酯、丙二醇甲基醚乙酸酯和溶剂均加入小型混合搅拌机中，进行均匀搅拌，搅拌机转速控制98‑110r/min，搅拌3‑5min，搅拌完毕后静置5‑10min，得混合物。通过采用组合树

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118068646A

(43)申请公布日2024.05.24

(21)申请号202410253299.5

(22)申请日2024.03.06

(71)申请人珠海市容大感光科技有限公司

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