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本实用新型属于硅片隐裂检测技术领域，具体而言，涉及一种硅片隐裂检测装置。该装置包括安装背板、调节座、光源和支撑结构，所述支撑结构包括水平设置的支撑板和分别通过第一连接件竖直固定在所支撑板两端下方的两个支撑柱；所述安装背板固定于所述支撑结构的支撑板的上方，所述调节座通过第二连接件固定于所述安装背板上；所述两个支撑柱之间位于所述支撑板下方从上至下依次固定有挡光板和背景板；所述光源的一端固定于所述第一连接件的下部，另一端斜向穿过所述挡光板和背景板之间的位置延伸；所述调节座上还设置有相机。本实用新型的硅
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN221007287U
(45)授权公告日2024.05.24
(21)申请号202322649825.3
(22)申请日2023.09.28
(73)专利权人南京势创智能科技有限公司
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