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2024-05-25 发布于四川
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一种晶圆金属含量分析用的检测装置.pdf

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本实用新型涉及晶圆金属检测技术领域，尤其涉及一种晶圆金属含量分析用的检测装置。其技术方案包括：底座、金属检测仪显示面板和金属检测探头，底座的内部固定安装有马达，底座的顶部固定安装有支撑架，支撑架的一侧固定安装有金属检测仪显示面板，金属检测仪显示面板底部的支撑架内部活动安装有固定杆，固定杆的一侧固定安装有金属检测探头。本实用新型通过设置有放置盘、支撑杆和擦拭棉之间的相互配合，通过启动马达能够带动放置盘进行转动操作，能够使带动晶圆盘进行同步转动，通过支撑杆能够对擦拭棉进行支撑，通过擦拭棉能够对晶圆盘

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN221007533U

(45)授权公告日2024.05.24

(21)申请号202323040605.7

(22)申请日2023.11.10

(73)专利权人苏州鑫睿微电子设备有限公司

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