TCMES-半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通用规范.pdf

T/CMESXXX—2024

ICS25.040.40

CCSN10

团体标准

T/CMESXXXX—2024

半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通

用规范

Generalspecificationofmaterialschedulingdatafor

semiconductorwafermanufacturingintelligentfactory

(征求意见稿)

I

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国机械工程学会发布

中国机械工程学会（英文简称CMES）是具备开展国内、国际标准化活动资质的全国性社会团

体。制定中国机械工程学会团体标准，以满足企业需要和市场需求，推动机械工业创新发展，是中

国机械工程学会团体标准的工作内容之一。中国境内的团体和个人，均可提出制、修订中国机械工

程学会团体标准的建议并参与有关工作。

中国机械工程学会团体标准按《中国机械工程学会标准化管理办法》进行制定和管理。

中国机械工程学会团体标准草案经向社会公开征求意见，并得到参加审定会议的3/4以上的专

家、成员的投票赞同，方可作为中国机械工程学会团体标准予以发布。

在本标准实施过程中，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料寄给中国机械工程学

会，以便修订时参考。

本标准版权为中国机械工程学会所有。除了用于国家法律或事先得到中国机械工

程学会正式许可外，不许以任何形式复制、传播该标准或用于其他商业目的。

中国机械工程学会地址：北京市海淀区首体南路9号主语国际4座11层

邮政编码：100048电话：010传真：010

网址：联系人：袁俊瑞电子信箱：yuanjr@

T/CMESXXX—2024

目次

前言V

半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通用规范6

1范围6

2规范性引用文件6

3术语和定义6

3.1智能工厂smartfactory6

3.2晶圆lotwaferlot6

3.3物流调度materialscheduling6

3.4系统层调度systemlayerscheduling6

3.5多态作业区调度polymorphicoperationareasscheduling7

3.6系统层重调度systemlayerrescheduling7

4缩略语7

5架构7

5.1物流调度业务过程7

5.2物流调度通用数据架构8

6生产资源要求9

6.1装备资源要求9

6.2通信资源规范要求9

7基础数据模型9

7.1基础数据描述9

7.2产品维数据描述规范9

7.3设备与辅件维数据描述规范12

8状态数据模型13

8.1物料状态信息13

8.2设备状态信息13

8.3物料质检信息16

8.4设备维