GB/T 43965-2024电子级正硅酸乙酯.pdf

ICS31.030

CCSL90GB

中华人民共和国国家标准

GB/T43965-2024

电子级正硅酸乙醋

Electronicgradeethylorthosilicate

2024-04-25发布2024-11-01实施

国家市场监督管理总局电古

国家标准化管理委员会＂－＂－.,,,

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CB/I43965-2024

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本文件按照心B/TI.1-2020《标消化丁．作导则第l部分．标准化文件的统构和赳J在规则u的规定

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本文件;l!l1,i单位．金宏气体股份有限公司、湖北新放天新材料股份有限公司、武汉新碰fl技淤江有

限公司、江苏南大光也材料股份有限公司、南大光也半导体材料有限公司、巾国电子枝术标准化研究院、

浙江小寸’硅业股份有限公叫、内紫古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江191润玛电子

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限公司、广州农两标准钱测研究院有限公司。

本文件主要起草人：孙猛、金l；可华、赵俊IP、肖俊平、李楷j豆、果怡然、W可足1、赵斌、陶刚义、孙明璐、

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张明灾．

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Cll/T43965-2024

电子级正硅酸乙醋

1范围

本文件规定了半导体行业阳也乎级正碰酸乙峭的技术要求、险验规则、型式试验、标志、包装、运输

及贮存的~）j(,f描述了试验方法、分忻方法与测定结果评价．

本文件适用于沉积二氧化砖的电子级.t£破破乙衔。

2规范性引用文件

下列文件巾的内容通过文巾的规范性引HJi7ii构成本文件必不可少的条款．其中，ttHJ闪的引JIJ文

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