长度计量器具检定系统框图.docx

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长度基准

r计 U=1.3×10-10~4×10-9

r

量基准

相互比对

比较测量

长度副基准

rU=1.3×10-10~4×10-9

r

工作基准器使用的光谱线:

量块长度测量装置 ~1000

具 U=(0.02+0.l1)

直接测量

He-Ne,86Kr,114Cd,113Hg,Kr,He,Cd·工作基准量块组(钢)1,50,100,500,1000

U=(0.02+0.l1)

U=0.5×10-7~1×10-7

r工作基准量块组(石英)5,50,100,500,1000

r

U=(0.02+0.l1)

1等量块0.5~1000

U=(0.02+0.l1)

直接测量

直接 测量

比较

2等量块0.5~1000

U=(0.05+0.l5)

直接 测量

比较

计 3等量块0.5~1000

U=(0.10+1l)

标 直接

比较 测量

器 4等量块0.5~1000

具 U=(0.20+2l)

直接 测量

比较

5等量块0.5~1000

U=(0.5+5l)

直接 测量

比较

0.01,0.02

公法线千分尺杠杆

杠杆千分尺校对

测微仪检定器

6等量块0.5~1000

U=(2.0+12l)

0.5μm杠杆齿轮式

1μm测长机

0.2μm光学计

量块长度测量的

00级量块

带表卡尺0~300

25~125

量杆 25~75

0~1μm

比较仪

0~1000,2000,6000

△=

干涉仪~1000

~1000

△=20

△=2~2.5

△=0.5

△=0.1

△=0.25~0.5

△=(0.5+1l0)

(0.05+0.0025A)

△=(0.02+0.l2)

△=(0.05+l1)

0.05带表卡尺

0~300

△=50

公法线千分尺

0~150

△=5~6

0级千分尺校对量杆 25~75

△=1~1.5

1μm测微仪

△=0.5

1μm杠杆齿轮式比较仪

△=0.5~1

1μm立式测长仪

0~100

△=(1+10l)

1μm立式光学计

△=(0.2~0.25)

量块长度测量的干涉仪~100

△=(0.02+0.l2)

0级量块

~1000

△=(0.1+2l)

0.02游标卡尺0~1000

△=20~70

内测千分尺校对量具

△=3

1级千分尺校对量杆 25~475

△=2~5

2μm测微仪

△=1

2μm杠杆齿轮式比较仪

△=1~2

1μm卧式测长仪

0~100

△=(1+5l)

1μm卧式光学计

△=(0.2~0.25)

量块长度测量的干涉仪~100

△=(0.03+0.l5)

K级量块

~1000

△=(0.2+4l)

计 0.05游标卡尺0~1000

△=50

△=50~125

0.05游标高度尺

△=3

0.01内测千分尺

△=2

1级千分尺

△=2~2.5

千分表检定仪

△=1~2

5μm杠杆式卡规

△=0.6

0.1,1,1μ0m电感

△=0.1~0.5

1μm

△=(0.03+0.l5)

立式接触干涉比较

△=(0.2+4l)

2级量块

0~2000

~50

0~500

0~2

0~150

比较仪2,20,20μ0m

扭簧比较仪

仪△= △λ)

~1000

△=50~200

△=8

△=4~10

△=1~1.5

△=2.5~5

△=0.1~5

△=0.4~1

(0.03+1n5iλ

△=(0.4+8l)

0.1游标卡尺

0.01壁厚千分尺

0.01深度千分尺

百分表检定器

1.2μm杠杆千分尺

气动浮标式测量仪

2μm

卧式接触干涉比较

3级量块

0~1000

0~25

0~150

0~25

0~100

0.014~0.09

扭簧比较仪

仪△= △λ)

~1000

△=100~150

△=8

△=5~10

△=4

△=2~6

△=0.4~2

△=0.8~2

(0.03+1n5iλ

△=(0.8+1l6)

0.1游标高度尺

0.01百分表式卡规

0.01板厚千分尺

塞尺

10μm内径千分尺

气动指针式测量仪

5,10μm

0~2000

0~1000

0~25

0.02~1

50~5000

0.05~0.4

扭簧比较仪

△=150~250

△=10~25

△=4~8

△=3~16

△=6~70

△=1

△=2~5

0.01带表千分尺0~100

级千分尺

0~100

5,10μm测微仪

2μm杠杆式卡规

0~150

工具显微镜标尺

0~2

0.1,0.2,0.μ5m

扭簧比较仪

量块长度测量的干涉仪100~1000

级量块

~1000

图4-3量块检定系统框图

注:1.图中符号说明:

rU——测量结果总的相对不确定度(量信限);U——测量结果总的绝对不确定度或称总不确定度(置信限1

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