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一种用于双提篮退火装置的控制方法.pdfVIP

一种用于双提篮退火装置的控制方法.pdf

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    本发明涉及晶体生产技术领域，尤其涉及一种用于双提篮退火装置的控制方法，包括如下步骤：控制器获取转运车的物料的基本信息；于控制器设置指令信息；控制器判断物料的基本信息是否与指令信息相匹配，当判断结果为是时，控制器控制拉取单元将物料拉取至退火单元；当判断结果为否时，控制器控制拉取单元将物料拉取至预存单元进行存储；退火单元执行退火操作，当物料执行退火操作后，拉取单元将物料拉取至预存单元进行存储，拉取单元将预存单元的物料拉取至传送单元，传送单元将物料转移至处理装置。本发明用于双提篮退火装置的控制方法，解

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118087048A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202410465811.2

    (22)申请日2024.04.18

    (71)申请人天津伍嘉联创科技发展股份有限公

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