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2024-05-29 发布于四川
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一种硅片腐蚀清洗机.pdf

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本发明公开了一种硅片腐蚀清洗机，属于硅片腐蚀清洗技术领域，该种防泄漏结构及硅片腐蚀清洗机，包括防泄漏机构、上下料机构和清洁机构，所述防泄漏机构设立在地面上，所述上下料机构内置在防泄漏机构的内部，所述清洁机构紧贴在上下料机构的一侧，所述防泄漏机构包括作为抵挡清洗区域的液体挡漏底板，所述液体挡漏底板的板材四周均围绕设置有防渗流包边框，所述防渗流包边框的板面中部边缘位置开设有投送开槽，通过采用液体挡漏底板确保在对硅片进行腐蚀清洗时避免液体的渗漏，结合防渗流包边框起到了挡水清洁的效果，结合投送开槽和密封

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118099044A

(43)申请公布日2024.05.28

(21)申请号202410479546.3

(22)申请日2024.04.22

(71)申请人南轩（天津）科技有限公司

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