有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本公开涉及半导体制造工艺技术领域，提供进气可调装置及半导体处理设备；装置包括：进气座，至少部分位于反应腔内，设有多个出气孔以及连通多个出气孔的安装腔；多个出气孔包括第一和第二出气孔；输气件，可相对运动地设于安装腔，形成有输气通道；输气通道包括：连通于输气端的通气端；连通于通气端及安装腔的通气槽口，通气槽口沿第一出气孔和第二出气孔的排列方向延伸且布置有两个堵件，通气端位于两个堵件之间；当输气件运动至令第一出气孔和第二出气中的一者被一个堵件封堵时，另一者被另一堵件所避让以与通气槽口连通。由此，实现对
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118086877A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410510073.9C23C16/52(2006.01)
您可能关注的文档
- 一种优化5G网络拓扑结构的视频传输系统.pdf
- 一种应用于洁净手术室的隐藏式内部空气流向控制装置.pdf
- 一种用于航空电缆的检测装置.pdf
- 一种具有分布式电源的配电网的故障定位方法及系统.pdf
- 基于B2-BCC结构的多孔高熵合金催化电极及其制备方法和酸性析氧应用.pdf
- 检测电路、检测设备及检测方法.pdf
- 一种盖塔病毒质粒载体、弱毒株及其制备方法和应用.pdf
- 测试方法、装置、电子设备及存储介质.pdf
- 燃料电池使用寿命评价方法、设备及介质.pdf
- 机床控制策略的调整方法、控制策略的调整装置及介质.pdf
- 中国国家标准 GB/T 4706.34-2024家用和类似用途电器的安全 第34部分：商用电强制对流烤炉、蒸汽炊具和蒸汽对流炉的特殊要求.pdf
- GB/T 4706.34-2024家用和类似用途电器的安全 第34部分：商用电强制对流烤炉、蒸汽炊具和蒸汽对流炉的特殊要求.pdf
- 《GB/T 4706.101-2024家用和类似用途电器的安全 第101部分：百叶门窗、遮阳篷、遮帘和类似设备的驱动装置的特殊要求》.pdf
- GB/T 4706.101-2024家用和类似用途电器的安全 第101部分：百叶门窗、遮阳篷、遮帘和类似设备的驱动装置的特殊要求.pdf
- 《GB/T 4706.55-2024家用和类似用途电器的安全 第55部分：保温板和类似器具的特殊要求》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 4706.119-2024家用和类似用途电器的安全 第119部分：含有激光或强光源(ILS)的化妆和美容护理器具的特殊要求.pdf
- GB/T 4706.119-2024家用和类似用途电器的安全 第119部分：含有激光或强光源(ILS)的化妆和美容护理器具的特殊要求.pdf
- 《GB/T 4706.119-2024家用和类似用途电器的安全 第119部分：含有激光或强光源(ILS)的化妆和美容护理器具的特殊要求》.pdf
- GB/T 4706.38-2024家用和类似用途电器的安全 第38部分：商用电动饮食加工机械的特殊要求.pdf
- 中国国家标准 GB/T 4706.38-2024家用和类似用途电器的安全 第38部分：商用电动饮食加工机械的特殊要求.pdf
文档评论（0）