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本发明涉及铌酸锂检测领域，提供一种铌酸锂极化结构检测方法及检测系统，其中，铌酸锂极化结构检测方法包括：将三维成像装置中的径向偏振光聚焦至铌酸锂样品；对铌酸锂样品施加电压；三维成像装置获取铌酸锂样品产生的倍频光，得到铌酸锂样品的反向极化的区域位置、轴向极化的周期和占空比。用以解决现有技术中极化周期结构检测过程对样品造成破坏的缺陷，本发明提供的铌酸锂极化结构检测方法，通过非线性光学原理采用三维成像装置对铌酸锂进行非接触、非破坏性的极化结构检测，通过将径向偏振光聚焦在铌酸锂上，并对铌酸锂施加电压，得到
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118090605A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410459321.1
(22)申请日2024.04.17
(71)申请人北京大学长三角光电科学研究院
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