KEYENCE基恩士活学活用 小提示 静电基础知识 Vol.4 静电问题.pdf

活学活用

小提示

静电基础知黄

静电问题

第4关

由萝电导致的问题

在生产场所中,会出现各种各样的静电问题。人体能够感知的静电大约在3ky上下,但电荷更低的静电也会导致

很多问题。以下是一些由静电导致的典型问题。

1.异物粘附

2.薄膜粘着

3.造成人体电击

4.静电击穿

现在,我们就将详细介绍困扰了很多人的由异物粘附和静电击穿导致的问题。

4异物粘附

异物粘附是在各行业中普遍存在的问题。在压模/涂履过程中,空气中的异物会粘附在工件上造成缺陷。在半导体

/儿LCD行业中,需要建造清洁室来减少环境中的颗粒量。那么,异物粘附究竟是如何发生的呢?

接地导体处于电稳定状态(0V)。

带正电的异物

_莉带电异物接近导体。导体内部,存在能够自由运动的电子(自由电子)，

受带电异物的影响,导体表面发生感应。这称为静电感应。

攻A

人忆才-能够自由运动的电子

洋

随着带正电的异物接近,自由电子就会聚集在导体表面形成导体带负电

的表象。

SN

吸引(库仑力)

库仑力将异物吸引向导体。

--磊《请参阅活学活用小提示;静电基础知识第1卷)

多

异物粘附于导体上!

欠

2.绝缘体

吸引(库仑力)

--关

排斥(库仑力)顺带说一下,当绝缘体与异物带有相同极性的电时,库仑力会使得异

物被绝缘体排斥,最终远离绝缘体。不过异物并不都是蒂一种极性

”区的电,例如在如图所示的情况中,绝缘体仍然会吸引带负电的物体。

请务必采取措施预防静电,使得带电量为0Y。

3.解决方案

静电是产生问题的根本原因,通过消除静电即可防止异物粘附。

那么消除静电的最佳方法是什么?

@接地措施

和绝缘体

由于导体中的电子可以自由运动,所以即使进行绝缘体内不会有电流通过。因此将绝缘体接地不

接地处理,也不可能消除异物粘附现象。会