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2024-05-29 发布于四川
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一种内置加热真空反应结构.pdf

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本发明公开了一种内置加热真空反应结构，包括：真空环境和等离子激发系统，还包括内置的喷淋电极加热盒和内置的地电极加热盒，所述内置的喷淋电极加热盒通过布置在喷淋电极加热盒主体上的第一加热元件进行加热喷淋电极，所述第一加热元件通过第一固定板固定在喷淋电极加热盒主体上，所述内置的地电极加热盒通过布置在地电极上的第二加热元件，第三加热元件对地电极进行加热，所述第二加热元件通过第二固定板，第三加热元件通过第三固定板固定在地电极上。本发明的优点是：通过直接方式对内置的喷淋电极反应盒、地电极反应盒进行加热，利用

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118086880A

(43)申请公布日2024.05.28

(21)申请号202410400208.6

(22)申请日2024.04.03

(71)申请人捷造科技（宁波）有限公司

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