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本发明涉及一种压力可调的浮离抛光装置，属于超精密抛光领域。包括磁浮式微位移机构、抛光盘机构、夹具保持平台机构、电机传动机构；第一、第二电磁铁安装在抛光盘和抛光容器底部，抛光盘固定在抛光托盘上端，第二主轴固定在抛光托盘下端；夹具保持平台由固定件固定在抛光容器壁上，旋转夹具放置在夹具保持平台的孔内底部平台上，工件保持盘卡在旋转夹具内，压力传感器设置在工件保持盘底部，轮齿传动零件的滑块与夹具保持平台凹槽连接，并与旋转夹具轮齿啮合；电机安装在支撑架上，电机轴穿过滚动轴承，通过联轴器、平键、第一主轴与轮齿
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN108705411A
(43)申请公布日
2018.10.26
(21)申请号20181
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