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用于形成层的系统、装置和方法.pdfVIP

用于形成层的系统、装置和方法.pdf

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    公开了用于形成包含14族元素、磷属元素和硫属元素的层的方法。在一些实施例中，14族元素包括锗，磷属元素包括锑，硫属元素包括碲。该方法包括执行多个沉积循环。沉积循环包括将衬底暴露于两种不同的14族前体、两种不同的磷属元素前体或两种不同的硫属元素前体。还公开了相关的系统和方法。合适的系统包括原子层沉积系统。合适的器件包括相变存储器件。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118102857A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202311581104.1C23C16/52(2006.01)

    (22)申请日2023.11.

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