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一种红外透射式测厚仪的三轴检测装置及调整方法.pdfVIP

一种红外透射式测厚仪的三轴检测装置及调整方法.pdf

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    本发明属于薄膜测厚仪调试技术领域，公开了一种红外透射式测厚仪的三轴检测装置及调整方法，红外透射式测厚仪的三轴检测装置包括第一平板、Z轴百分表、第一立板、第二立板、Y轴百分表、X轴百分表、第二平板、固定轴、连接件；调整方法为：首先将三轴百分表安装固定，再将连接件与上测厚仪架连接，然后将测厚仪架移动至滑轨的中间位置，将三轴百分表归零，并将测厚仪架移动至滑轨的一端，再从一端向另一端，每移动一定距离记录三轴百分表的读数，最后判断三轴百分表的读数是否超出设定范围，如果超出范围，则进行调整使百分表读数归零。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118088853A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202410464821.4F16M11/18(2006.01)

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