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本发明公开一种高精度非接触式六自由度并联机构空间位姿测量装置，属于高精度测量技术领域，目的在于解决现有技术存在测量精度不足以及测量范围不兼容的问题。本发明的一种高精度非接触式六自由度并联机构空间位姿测量装置包括：立方棱镜，所述立方棱镜的一个面通过姿态调整机构设置在待测的六自由度并联机构上，立方棱镜的其余五个面作为反射面；双频激光干涉仪，所述双频激光干涉仪通过分光镜组获得三路相互垂直的光线，三路相互垂直的光纤分别垂直所述立方棱镜的三个相邻的反射面上；以及自准直仪和电子经纬仪，两台所述自准直仪或两台
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118089703A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410480006.7
(22)申请日2024.04.22
(71)申请人中国科学院长春光
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