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一种半导体硫酸废液、TMAH废液的综合处理系统及方法.pdfVIP

一种半导体硫酸废液、TMAH废液的综合处理系统及方法.pdf

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    本公开涉及半导体行业废液的资源化回收利用技术领域，具体公开半导体硫酸废液、TMAH废液的综合处理系统及方法，包括以下内容：预处理单元、厌氧单元、深度处理单元、脱氮单元和硫酸处理单元。预处理单元、厌氧单元、深度处理单元和脱氮单元顺次连接为一个处理部，硫酸处理单元连接于处理部，硫酸处理单元向处理部提供再生硫酸。本公开的系统及方法可以充分净化半导体硫酸废液，并将在生成的硫酸进行利用；同时处理硫酸废液和TMAH废液，无需增设其他处理设备，极大程度地减少了设备成本；无需委托外部工厂进行处理，减少了运输成本

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118084258A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202410400245.7C02F1/00(2023.01)

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