微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法.pdfVIP

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2024-05-29 发布于四川
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微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法.pdf

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本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法，微量气氛取样检测装置，包括中空的检测腔体以及真空系统，检测腔体与真空系统连通，检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪，测试装置与样品固定装置对应设置，样品固定装置用于固定设置样品，测试装置能够破坏样品的气密封，质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中，相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构，避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响，即使样品内的气氛气体很少，其也能够在检测腔体中充分扩散，使质

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN113624565A

(43)申请公布日2021.11.09

(21)申请号202110919009.2

(22)申请日2021.08.11

(71)申请人中国电子产品可靠性与环境试验研

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