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2024-05-29 发布于四川
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一种晶圆垫的夹取装置.pdf

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本实用新型提供了一种晶圆垫的夹取装置，通过将拉杆滑动设置在外筒内，并在拉杆上设置至少三个夹取件，每个夹取件包括活动杆和夹爪，所述夹爪通过活动杆与拉杆相连接；所有夹取件的夹爪形成用于夹取晶圆垫的夹取口；所述外筒的一端设有第一开口，当夹爪自然张开时，形成的夹取口的大小大于所述第一开口的大小；使用时，只需用手向上拉动拉杆，使得拉杆相对于外筒滑动产生位移，第一开口和夹爪之间的距离逐渐缩小，在此过程中第一开口通过活动杆限制夹爪的张开角度，以调整夹取晶圆垫时夹取口的大小，从而实现夹取装置夹取晶圆垫槽体内旧的

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN221041023U

(45)授权公告日2024.05.28

(21)申请号202322730572.2

(22)申请日2023.10.11

(73)专利权人芯恩（青岛）集成电路有限公司

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