无尘车间管理制度汇编样本.doc

无尘车间管理制度

(某世界500强半导体企业内部规范-仅供参考)

目录

无尘车间管理目标

无尘车间管理标准

适用范围

术语

管理程序

5．1无尘车间施工管理制度

5．2无尘车间洁净度定时检测制度/测量标准

5．3无尘车间人员管理制度

5．4无尘车间洁净服管理制度

5．5无尘车间物流/洁净室内设备及工器具管理制度

5．6无尘车间清洁、清扫和灭菌管理

5．7无尘车间洁净室安全管理

版本更改统计

1．0无尘车间管理目标

半导体产品生产过程对车间有明确洁净要求，为了满足生产工艺需要、确保产品质量、安全生产，必需对洁净室环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。

2．0无尘车间管理标准

进入洁净室管理，包含对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备搬入和相关设备、管线维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。

操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服制作、穿着和清洗；操作人员移动和动作；室内设备及装修材料选择和清扫、灭茵等，尽可能地降低、预防洁净室内尘粒、微生物产生、滞留、繁殖等。

严格各类设备、设施维护管理，制订对应操作规程，确保各类设备、设施按要求正常运转，包含净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。

清扫、灭菌管理，对洁净室内各类设备、设施清扫、灭茵和方法、周期和检验作明确要求，预防、捎除洁净室内尘粒、微生物产生、滞留、繁殖。

洁净室环境控制内容包含：空气净化、洁净建筑、和产品直接接触水或气体或化学品和生产设备、工器具等污染物控制和微振动、噪声、静电控制、预防等。

3．0适用范围

半导体企业全部洁净生产区及洁净辅助间(包含人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包含部分办公、值班、管理和体息室等)和未来新建、改建、扩建洁净厂房及其辅助用房。

4．0术语

洁净生产区是洁净厂房关键部分，对洁净等级有明确要求区域。

洁净辅助间是洁净厂房不可缺乏必备房间。洁净辅助间对洁净厂房平面关系亲密，对洁净厂房建造带来影响和投产后能否满足产品生产需要和能否可靠地预防生产过程污染或交叉污染至关关键。

管理区是洁净厂房内产品生产过程生产管理、技术管理用房和必需操作人员休息、福利用房。

设备区即净化空调系统、公用动力系统等用房，是洁净厂房关键组成部分。

5．0管理程序

5．1无尘车间洁净室施工管理制度

5．1．1背景

5．1．1．1半导体制造业必需在洁净环境中进行，在施工中必需遵照行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序概要。为了确保项目标成功，现场每一位人员全部必需遵守。

5．1．1．2图纸上对于施工洁净建设草案将被强制实施。这包含除了原料和成品仓库以外全部主厂房内地方。

5．1．1．3洁净室施工管理制度现在关键针对一期主厂房内局部改造和扩建，后期全部洁净室施工项目仍根据本制度要求标准进行管理。

5．1．2责任和义务

5．1．2．1全部承包商有责任确保她们工人全部了解这些规则和程序，而且在她们疏于遵从或违反时给培训和训练。被分配到洁净建设区域每位工人有责任和义务了解并遵守洁净建设规则和程序。

5．1．2．2承包商负责实施洁净室草案。她将天天对洁净建设区域进行检验，并填写检验清单。承包商负责提供洁净室所需物品，比如：鞋套，毛巾，垫子和工装。她也负责提供每日实施洁净规则和程序人员和设备。

5．1．2．3承包商建造区域入口并对其进行管理。她提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服清洗店。她将对在洁净区域工作人员进行培训，并维护被许可在此区域工作人员身份认定和管理。

5．1．2．4开始阶段，承包商应在每个入口处安排人员（除非半导体企业在该入口处安排有些人员）以确保本规则和程序实施。

5．1．2．5反复违反规则和程序人员将被开除。没有落实实施本规则和程序供给商将被除名。

5．1．3草案细则

洁净室草案分为三部分，每一部分对应施工一个过程。施工靠近完工阶段，不许可从外面或洁净区域施工场地带入脏物。

5．1．3．1第一部分

第一部分关键针对直到关键施工完成后。包含屋顶，覆层，门和窗户。全部工人必需从图纸上标明通道进出施工现场。每个入口将会有清洗店。全部工人进入必需保持鞋子洁净。不许可穿奇特服装，工人衣服应该保持合适洁净。现场安全规则必需时刻遵守。

全部设备和材料必需从一个入口进入施工现场，而且保持洁净，不许可有碎片掉下。

施工现场内不许可吃东西，吸烟，喝酒。

每班结束时，必需清走全部垃圾和废旧物品。总而言之，整个施工现场天天必需保持洁净。

5．1．3．2第二部分

第二部分关键针对直到gridlineB西边洁净区域内墙完成。此时，只许可承