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大宗气体及特殊气体.docx

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    GAS

    系统根底学问

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    概述

    HOOK-UP专业认知

    一、厂务系统HOOKUP定义

    HOOKUP乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台到达预期的功能。HOOKUP是将厂务供给的UTILITIES(如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点(PORTORSTICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备(SUBUNITS)。

    机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物(如废水,废气等),经由管路连接

    至系统预留接点,再

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