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单晶硅片的技术标准.docx

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    单晶硅片的技术标准

    范围

    本要求规定了单晶硅片的分类、技术要求、包装以及检验标准等

    本要求适用于单晶硅片的选购及其检验。2标准性引用文件

    ASTMF42-02半导体材料导电率类型的测试方法

    ASTMF26半导体材料晶向测试方法

    ASTMF84直线四探针法测量硅片电阻率的试验方法

    ASTMF1391-93太阳能硅晶体碳含量的标准测试方法

    ASTMF121-83太阳能硅晶体氧含量的标准测试方法

    ASTMF1535用非接触测量微波反射所致光电导性衰减测定载流子复合寿命的试验方法

    术语和定义

    TV：硅片中心点的厚度，是指一批硅片的厚度分布状况；

    TTV：总厚

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