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2024-05-29 发布于四川
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卡盘装置和半导体工艺设备.pdf

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本实用新型提供了一种卡盘装置和半导体工艺设备。卡盘装置包括旋转卡盘、夹持柱、发射器、接收器和处理器；若干个发射器沿旋转卡盘的周向一定弧度范围内设置构成发射装置，和/或若干个接收器沿旋转卡盘的周向一定弧度范围内设置构成接收装置，当晶圆被放置于水平放置的卡盘装置上的夹持柱时，晶圆缺口在旋转卡盘的上表面的投影位于发射装置上和/或接收装置上；接收器与处理器电连接，接收器用于探测发射器发射的光线并向处理器发送光线接收信息，处理器用于根据光线接收信息判断晶圆缺口是否偏移和/或晶圆边缘是否破损。本实用新型能对

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN221041093U

(45)授权公告日2024.05.28

(21)申请号202322730575.6

(22)申请日2023.10.11

(73)专利权人芯恩（青岛）集成电路有限公司

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