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本申请涉及用于电镜样品的真空预存储设备,真空存储腔室设置于下底座上,上密封盖以真空密封方式可拆卸地设置于真空存储腔室上,真空存储腔室用于提供真空环境以容置电镜样品;控制器、无油干式真空泵及真空规分别设置于下底座上;控制器分别与无油干式真空泵及真空规电连接,真空规的检测端位于真空存储腔室内部,无油干式真空泵的进气口连通真空存储腔室内部。实现了电镜样品真空存储及除水汽功能要求,保证了所预存储的电镜样品抽真空时间大大缩短;保证了电镜样品与大气中水汽及污染物最大程度的隔绝,且不会因真空预存储而产生有机污
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN221024937U
(45)授权公告日2024.05.28
(21)申请号202322739164.3B65D81/20(2006.01)
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