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一种微流控芯片模具制备用显影机.pdf

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本实用新型涉及一种显影机,属于芯片模具制造技术领域,具体是一种微流控芯片模具制备用显影机,包括机身,机身上固定安装有反应仓,反应仓的顶部活动安装有安装板,安装板的底部固定安装有放置板,放置板上开设有放置槽,安装板的顶部固定安装有把手,机身上设置有注液排液机构以及抽气机构,抽气机构包括有隔板、风机、进气管、排气管、集气瓶以及安装管,隔板固定安装在机身的侧壁上,风机固定安装在隔板的顶部,进气管固定安装在风机的输入端上且另一端与反应仓的内部连通;本实用新型避免了显影时产生的废气泄露导致废气对操作人员造

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN221039791U

(45)授权公告日2024.05.28

(21)申请号202323090008.5

(22)申请日2023.11.16

(73)专利权人顶旭(苏州)微控技术有限公司

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