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本实用新型提供了一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，属于微显示器检测或者晶圆半导体外观缺陷检测的领域，其包括相邻连接的主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分，主相机设置在主镜筒部分上，副相机设置在副镜筒部分上，光源设置在光源镜筒部分上，其中，在主镜筒部分底部设置有分束镜座，在副镜筒部分设置有一反射镜座，在光源镜筒部分设置有又一反射镜座，反射镜座和分束镜座均能活动，以能带动设置在其上的光学镜片发生前后俯仰调节和左右俯仰调节。采用本实用新型装置可以边调试取像边调节反射镜或者分束镜的前后俯仰和左右俯仰的角
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN221039588U
(45)授权公告日2024.05.28
(21)申请号202323256490.5G01N21/01(2006.01)
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