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2023年分步重复光刻机项目可行性研究方案.docx

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    分步重复光刻机项目可行性研究方案

    PAGE1

    分步重复光刻机项目可行性研究方案

    目录

    TOC\h\z1791序言 3

    11955一、分步重复光刻机项目建设内容 3

    576(一)、建筑工程 3

    10320(二)、电气、自动控制系统 5

    4587(三)、通用及专用设备选择 6

    18405(四)、公共工程 8

    31491二、分步重复光刻机项目选址 9

    6715(一)、分步重复光刻机项目选址原则 9

    11213(二)、原材料及主要辅助材料供应 10

    7829(三)、交通条件 12

    12340(四)、自然条件 14

    23584

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