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2024年半导体设备项目创业投资方案.docx

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    半导体设备项目创业投资方案

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    半导体设备项目创业投资方案

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    TOC\h\z29805概论 4

    761一、建筑物技术方案 4

    17232(一)、项目工程设计总体要求 4

    12493(二)、建设方案 5

    17790(三)、建筑工程建设指标 6

    30177二、生产控制的基本程序 6

    18309(一)、半导体设备生产控制的基本程序 6

    24479三、安全评价范围、目的及依据 8

    4083(一)、评价范围 8

    30205(二)、评价目的 9

    31744(三)、评价依据 10

    10760四、半导体设备技术创新的

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