6.第六章--氢还原.ppt

****************1、原理如果将升温后的冷却水简单地用循环水冷却后再返回冷却炉筒，那么，被炉筒冷却水带走的热能就白白地浪费掉了。而且，还需要一整套热交换设备及大量的循环水供给。1、原理在对还原炉筒进行冷却时，炉筒冷却水的出水温度从130℃逐步上升到170℃左右，这样的热水完全可以用来产生低压蒸汽，这种低压蒸汽可用于多晶硅生产中。1、原理在对还原炉筒进行冷却时，炉筒冷却水的出水温度从130℃逐步上升到170℃左右，这样的热水完全可以用来产生低压蒸汽，这种低压蒸汽可用于多晶硅生产中。1、原理“闪蒸”又称为平衡蒸馏，是一个连续稳定过程，当加热到一定温度的液体经节流阀或骤然减压到规定压力，由于压力降低，液体在较低温度下沸腾，液体降温释放出的显热作为部分液体的汽化潜热，部分液体迅速汽化，汽液两相在容器中分开，得到的蒸汽从容器顶部送出。2、工艺流程示意图热介质出热能使用设备冷介质进还原炉热能使用设备、锅炉房等膨胀槽汽化器蒸汽温水罐3、过程控制还原生产中，会产生大量热能，如直接弃置于环境自然造成能源的巨大浪费和明显的环境热影响。将这些大量的热能利用起来，既不造成能源浪费也不影响环境，同也降低了多晶硅生产成本。3、过程控制我们可以对它做如下热能综合利用：01可用于对干法回收吸附柱的活性碳进行再生处理。还原炉冷却后的导热介质出口温度很高，回收产生蒸气对SiHCl3精馏提纯塔提供热能可省去电耗。02导热介质降温过程中，汽化器产生出的大量蒸汽用途更加广泛，可直接用它对精馏中的再沸器提供热能。033、过程控制我们可以对它做如下热能综合利用：04可以用来制成蒸馏水，供氢气电解槽和其它岗位制备纯水使用。可用于对软水加热后，送至精馏岗位，对精馏塔提供热能。053、过程控制我们可以对它做如下热能综合利用：06可以用蒸汽取代生产、生活锅炉，节省燃煤，同时也降低了环境污染。可以用于对氢气净化柱进行再生处理。074、安全控制生产、运行中，导热介质使用温度及蒸汽温度均较高，运行、维修中一定要注意操作，以防人员烫伤。学习愉快！THANKS公司微信公众号*******************还原工序原辅料质量指标一、原料的质量要求1、原料SiHCl3、H2的质量要求原料三氯氢硅、氢气分别由精馏工序和制氢站（或尾气回收系统）提供。一、原料的质量要求1、原料SiHCl3、H2的质量要求(1)三氯氢硅标准杂质含量；SiHCl3≥99.8%（质量分数）需要控制露点、氧含量、碳含量等；H2含量≥99.9%（体积分数）(2)氢气一、原料的质量要求还原生产中的主要热源是锅炉房过来的高温饱和水蒸汽，通常用蒸汽表示。水的饱和蒸汽压与温度相对应，如100℃下，水的饱和蒸汽压为101.325KPa，也可以说水在101.325KPa下，沸点为100℃。2、还原工序所用热源质量指标一、原料的质量要求因此，常用蒸汽压力来表示蒸汽温度，即若说蒸汽压力为250KPa，则表示加热蒸汽的温度为127.2℃。通常实际中往往用表压表示，即蒸汽压力为1.5公斤（G），同样表示蒸汽温度为127.2℃。2、还原工序所用热源质量指标一、原料的质量要求蒸汽加热系统，往往利用蒸汽的潜热（即相变热），即127.2℃的蒸汽变成127.2℃的水，压力并不改变，而释放的能量，其数值等于该温度下水的汽化热（KJ/KG）。2、还原工序所用热源质量指标一、原料的质量要求127.2℃的蒸汽变成127.2℃的水，放出的热量为2185.4KJ/KG，即该温度下水蒸气释放的潜热为2185.4KJ/KG。2、还原工序所用热源质量指标一、原料的质量要求还原厂房冷却水有2种，一种是低温7~11℃水，另一种是常温外循环水。7~11℃水主要通过溴化锂冷冻机组冷却后循环，而外部循环冷却水直接由冷却塔冷却后循环。3、所用冷却水质量指标一、原料的质量要求溴化锂机组工作原理利用液态制冷剂“溴化锂-水”组成的二元溶液在高温蒸汽的加热下蒸发成高浓度的溴化锂溶液和水蒸气，其中水蒸气通过外部循环冷却水冷凝而进入到蒸发器，同时高浓度的溴化锂溶液则进入到吸收器，吸收器和蒸发器是内部相通的。3、所用冷却水质量指标一、原料的质量要求溴化锂机组工作原理由于溴化锂溶液的强烈吸湿性，会吸收蒸发器的水分而使蒸发器温度下降，蒸发器内部换热器通循环水，这样因为溴化锂的吸湿使得蒸发器内换热器里的循环水温度下降而制冷。因为溴化锂吸收式制冷机的制冷剂是水，制冷温度只能在0℃以上，一般不低于5℃。3、所用冷却水质量指标一、原料的质量