《电子工厂特种气体和化学品配送设施通用规范》.doc

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工程建设强制性国家规范

《电子工厂特种气体和化学品配送设施

通用规范》

（征求意见稿）

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1总则

1.0.1为了在电子工厂特种气体和化学品配送设施设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除工程中保障人身健康和生命财产安全、生态环境安全，满足经济社会管理的基本要求，依据有关法律、法规、技术措施制定本规范。

1.0.2电子工厂新建、扩建和改建的特种气体和化学品配送设施设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除工程必须遵守本规范。

1.0.3当电子工厂特种气体和化学品配送设施在设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除工程中采用的技术措施与本规范的规定不一致，经合规性评估符合本规范的基本规定时，应允许使用。

1.0.4工程建设所采用的技术方法和措施是否符合本规范要求，由相关责任主体判定。其中，创新性的技术方法和措施应进行论证并符合本规范中有关性能的要求。

2基本规定

2.0.1特种气体和化学品配送设施设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除时，应建立系统的安全评估和风险管理制度，消除安全事故隐患。

2.0.2特种气体和化学品配送设施设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除中涉及的压力容器、压力管道等特种设备应符合国家有关特种设备监察管理规定。

2.0.3特种气体和化学品配送设施应进行重大危险源辨识，危险化学品重大危险源设计、施工与验收、运行与维护应符合国家有关重大危险源安全监管的规定。

2.0.4特种气体和化学品配送设施达到设备的使用年限或遭遇重大事故后，应进行系统安全及其功能、性能的验证与评估，合格后方能继续使用。

2.0.5特种气体和化学品配送设施设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除工程应采取技术措施减少污染，对产生环境污染的废气、废水、固体废物进行处理。

2.0.6特种气体和化学品配送设施的设备和管道应设置专用标识，供应站房应设置安全警示标识。

2.0.7电子工厂涉及的剧毒化学品、易制爆化学品、易制毒化学品配送设施的设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除应符合国家管理的规定。

2.0.8特种气体和化学品的管道穿过防火墙或防火隔墙时，应进行防火封堵。

2.0.9特种气体和化学品系统设备、管道、管件应选择与介质特性相容的材料，并根据介质特性和工艺要求对介质接触面进行处理。

2.0.10对于物理化学性质易受温度影响的特种气体和化学品，应采取措施对其环境、配送设施进行温度控制。

3特种气体配送设施设计

特种气体站房

3.1.1特种气体应按照物理化学特性分类存放，特种气体间设计应符合下列规定：

1特种气体间应设置排风系统；

2特种气体间与相邻房间防火隔墙的耐火极限不应小于2.00h；

3易燃特种气体间应进行防爆设计。

3.1.2大宗硅烷系统气体设备应布置在独立的开敞式建筑内，建筑外墙面的遮挡部分不得大于三面。

3.1.3硅烷站内大宗容器之间以及大宗容器与工艺气体盘之间的距离小于9m时，应设置耐火极限2.00h以上的隔断。隔断的高度和长度应大于硅烷容器尺寸800mm。

3.1.4剧毒性特种气体供应间应配置专用容器或应急工具，排风装置和剧毒性特种气体在事故状态下的排风处理装置。

3.1.5剧毒性特种气体供应间应设置双锁安全门、防盗窗和防止人员入侵的安全防范设施。

3.1.6自燃性液态特种气体配送设施应设置事故处理装置，处理装置应具备应急状况处理能力。

特种气体工艺及管道系统

3.2.1不相容特种气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中。

3.2.2液态气体钢瓶加热应配置温控系统，钢瓶表面温度应满足安全要求。

3.2.3自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统气瓶柜的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，并设置止回阀，不相容性特种气体系统吹扫氮气不得共用同一氮气源，吹扫气体管线应设置止回阀。

3.2.4不相容特种气体排气管道不得接入同一排气系统。

3.2.5硅烷钢瓶侧连接管道应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站安全出口应设置手动紧急切断按钮。至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m。

3.2.6生产厂房洁净室内的自燃性、易燃性和毒性特种气体管道应明敷，并应采用焊接。

特种气体监控与安全系统

3.3.1 使用多种特种气体的生产厂房应设特种气体管理系统，系统应实现特种气体连续检测、指示、报警功能，并应能够记录、存储。

3.3.2 储存、输送、使用自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体的配送设备间，气瓶柜和阀门箱、生产工艺设备、就地废气处理装置排风出口管处应设置特种气体泄漏探测装置。

3.3.3 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体检测装置报警设定值应符合下列规定：

自燃