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测控技术
综述２０２０３９４·１·
年第卷第期
高温大压力传感器研究现状与发展趋势
１，２３３１，２１，２
黄漫国，邹兴，郭占社，刘德峰，李欣
（１．航空工业北京长城航空测控技术研究所，北京１０１１１１；２．状态监测特种传感技术航空科技重点实验室，北京１０１１１１；
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京）
３．１００１９１
摘要高温环境下大量程压力测量技术在工业航空航天石油勘探等领域具有广阔的应用前景高温
：、、。
大压力传感器是目前研究的热点。对目前几种常用的高温大压力传感器包括多晶硅高温压力传感器、
单晶硅压力传感器硅蓝宝石高温压力传感器高温压力传感器光纤高温压力传感器
（ＳＯＩ）、（ＳＯＳ）、ＳｉＣ、
、。，
的工作原理国内外研究现状以及应用特点进行了阐述最后对高温大压力传感技术未来的发展趋势
进行了展望。
关键词：高温大压力传感器；单晶硅；多晶硅；硅－蓝宝石；碳化硅；光纤
中图分类号ＴＰ２１２文献标识码Ａ文章编号１０００－８８２９２０２００４－０００１－０５
：：：（）
：
ｄｏｉ１０．１９７０８／ｊ．ｃｋｊｓ．２０２０．０４．００１
ＲｅｓｅａｒｃｈＳｔａｔｕｓａｎｄＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔＴｒｅｎｄｏｆＨｉｇｈＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＰｒｅｓｓｕｒｅＳｅｎｓｏｒ
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牗１．ＡＶＩＣＢｅｉｊｉｎｇＣｈａｎｇｃｈｅｎｇＡｅｒｏｎａｕｔｉｃＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｎｄＣｏｎｔｒｏｌＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅ牞Ｂｅｉｊｉｎｇ１０１１１１牞Ｃｈｉｎａ牷
２．ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｎＳｐｅｃｉａｌＣｏｎｄｉｔｉｏｎＭｏｎｉｔｏｒｉｎｇＳｅｎｓｏｒＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ牞Ｂｅｉｊｉｎｇ１０１１１１牞Ｃｈｉｎａ牷
３．ＳｃｈｏｏｌｏｆＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＯｐｔｏＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ牞ＢｅｉｈａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ牞Ｂｅｉｊｉｎｇ１００１９１牞Ｃｈｉｎａ牘
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ｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒｓａｒｅｃｕｒｒｅｎｔｌｙｔｈｅｆｏｃｕｓｏｆ
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