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集成电路铜互连钌阻挡层异质材料去除选择性的研究;目录;01;;铜互连技术已广泛应用于先进集成电路制造中，有效提高了芯片性能。;;;02;;原理;;;03;;化学反应动力学原理在选择性去除中发挥着重要作用，通过研究反应速率、反应机理和影响因素，可以优化去除工艺参数，提高去除效率和选择性。;;;04;;;;;05;;利用特定的化学溶液与异质材料发生反应，从而实现去除。具有操作简便、成本低等优点，但选择性较差，易对周围材料造成损伤。;;;06;;;;;[感谢观看]
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