ITO靶材的毒化机理研究现状.pdf

南有色金属第28卷第1期

46UNANNONFERROUSMETALS2012年2月

ITO靶材的毒化机理研究现状

1,22122

姜鹤,王东新,王燕昌,孙本双,钟景明

(11宁夏大学物理电气信息学院,宁夏银川750021;21西北稀有金属材料研究院,宁夏石嘴山753000)

:ITO,,

ITO,ITO,

3ITO:ITOSn

,ITO

ITOITO

:ITO靶材;溅射;毒化

+

:TG146136:A:1003-5540(2012)01-0046-05

(TCO)

[1]

TCO,ITO,

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+[2]

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111ITOPVAITO

[3]

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:(1986-),,,ITO