GB/T 25915.10-2021洁净室及相关受控环境　第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级.pdf

ICS13.040.35

ccsc70GB

中华人民共和国国家标准

GB/T25915.10-2021/ISO14644-10:2013

洁净室及相关受控环境第10部分：

按化学物浓度划分表面洁净度等级

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments一

Part10:Classificationofsurfacecleanlinessbychemicalconcentration

(ISO14644-10:2013,IDT)

2022-03-01实施

2021-08-20发布

国家市场监督管理总局也士

国家标准化管理委员会«.IIJ

GB/T25915.10-2021/ISO14644-10:2013

目次

前言…………ill

引言……·凹

1范固－

2规植性引用文件－

3术语和定义……

4分级…………·………2

5化学污染的表面洁净度检测／测量、监测及符合性证明……….4

附录AC资料性）表面化学物各种浓度的换算……6

附录B（资料性）影响测试与结果的因素……12

附录c（资料性）洁净度评定的基本要素.…....…13

附录D（资料性）按化学物浓度测试表面洁净度的方法…14

附录E（资料性）测试报告………………23

参考文献…………24

I

GB/T25915.10-2021/ISO14644-10:2013

目IJ~

本文件按照GB/T1.12020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第10部分。GB/T25915已经发布了以下

部分：

第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级；

第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测；

第3部分：检测方法；

一一第4部分：设计、建造、启动；

第5部分：运行；

第6部分：词汇；

一一第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境h

第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级；

第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级；

第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级；

第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。

本文件等同采用ISO14644-10:2013《洁净室及相关受控环境第10部分：按化学物浓度划分表面

洁净度等级》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会（SAC/TC319）提出并归口。

本文件起草单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州市

计量测试院、中国电子系统工程第二建设有限公司、苏州宏远净化技术有限公司、陕西中电精泰