GB/T 25915.8-2021洁净室及相关受控环境　第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级.pdf

ICS13.040.35

ccsc70GB

中华人民共和国国家标准

GB/T25915.8-2021/ISO14644-8:2013

代替GB/T25915.8-2010

洁净室及相关受控环境

第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度

(ACC）等级

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments一

Part8:Classificationofaircleanlinessbychemicalconcentration(ACC)

(ISO14644-8:2013,IDT)

2022-03-01实施

2021-08-20发布

国家市场监督管理总局也士

国家标准化管理委员会«.IIJ

GB/T25915.8-2021/ISO14644-8:2013

目次

前言………………I

引言……………………·．．．．．．．．．．．．皿

1范围－

2规范性引用文件…………·

3术语和定义……

4分级…………….3

5合格性的证明……………5

附录A（资料性）影响ACC的因素………………………6

附录B（资料性）常见污染物……………….9

附录c（资料性）常用测量方法…………….12

附录D（资料性）隔离装置的特殊要求….15

参考文献………………16

GB/T25915.8-2021/ISO14644-8:2013

目lj~

本文件按照GB/T1.12020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第8部分。GB/T25915已经发布了以下部分：

第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级；

第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测；

第3部分：检测方法；

第4部分：设汁、建造、启动；

第5部分：运行；

一一第6部分：词汇；

第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）；

第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级；

第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级；

第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级；

第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。

本文件代替GB/T25915.82010《洁净室及相关受控环境第8部分：空气分子污染分级》，与

GB/T25915.82010相比，主要技术变化如下2

a)增加了“按化学物浓度划分空气洁净度川按化学物浓度划分表面洁净度”和“按化学物浓度划

分空气洁净度（ACC）等级”的术语和定义（见3.1.2、3.1.4、3.1.的；

b)修改了术语“分子污染”为“化学污染物”、“空气分子污染”为“空气化学污染”和“表面分子污

染”为“表面化学污染物”（见3.1.1、3.1.3、3.1.