GB/T 25915.2-2021洁净室及相关受控环境　第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测.pdf

ICS13.040.35

ccsc70GB

中华人民共和国国家标准

GB/T25915.2-2021/ISO14644-2:2015

代替GB/T25915.2-2010

洁净室及相关受控环境

第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments-Part2:Monitoringto

provideevidenceofcleanroomperformancerelatedtoair

cleanlinessbyparticleconcentration

(ISO14644-2:2015,IDT)

2022-03-01实施

2021-08-20发布

国家市场监督管理总局砸啻

国家标准化管理委员会。ιw

GB/T25915.2-2021/ISO14644-2:2015

目次

前言…………ill

引言……·V

1范围－

2规范性引用文件－

3术语和定义·

4监测计划的制定、执行及持续改进………….2

5按粒子浓度定期划分空气洁净度……………….3

附录AC资料性）制定监测计划考虑事项…4

附录B（资料性）设定预警值和干预值的考虑事项…………·……7

参考文献….11

I

GB/T25915.2-2021/ISO14644-2:2015

目lj~

本文件按照GB/T1.12020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第2部分。GB/T25915已经发布了以下部分：

第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级；

第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测；

第3部分：检测方法；

一一第4部分：设计、建造、启动；

一一第5部分：运行；

第6部分：词汇；

第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）；

第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级；

第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级；

第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级；

一一第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。

本文件代替GB/T25915.22010《洁净室及相关受控环境第2部分：证明持续符合

GB/T25915.1的检测与监测技术条件》，与GB/T25915.22010相比，主要技术变化如下：

a)修改了范围（见第1章，2010年版的第1章h

b)术语和定义中只保留了原来的检测、监测2个术语，删除了其他6个（见2010年版的第3章），