GB/T 36306-2018洁净室及相关受控环境　空气化学污染控制指南.pdf

ICS13.040.35

c70

中华人民共和国国家标准

GB/T36306-2018

洁净室及相关受控环境

空气化学污染控制指南

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments-

Guidelinesforairbornechemicalcontaminationcontrol

2018-06『07发布2018-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T36306-2018

目次

前言…….I

引言………………….II

1范围………

2规范性引用文件…·

3术语初定义……·

4污染源、分级与分类…………....2

5检测…………·………......2

6空气化学污染控制…………….......2

附录A（资料性附录〉微电子和光电子领域对空气化学污染物的分级与分~…………….3

附录B（资料性附录〉气相污染物也｜吹测与相关分析测定仪然…………·…….........4

附录C（资料性附录〉控制化学分子污染设施系统………………........9

附录D（资料性附录〉微电子下业洁净室空气化学污染控制j标准……..........11

参二号文献………………......................15

GB/T36306一2018

前

本标准按照GB/T1.1-2009给I11的规则起草。

本标准向全同洁净室及相关受控环绕标准化技术委员会（SAC/TC319）提I11并归口。

本标准起卫在单位：南京天加环绕科技有限公司、苏州｜丁．业网区；在合环绕技术丁－程有限公司、苏州｜华

黎空气过滤lit有限公司、苏州市计最测试研究所、爱5毫克空气过滤，~，~（苏州〉有限公司、中国电子了程设

计院、苏州市恩威特环统技术有限公司、中电投.T：程研究检测评定中心、苏州净化丁．程安装有限公司、北

京希达建设j院现有限责任公司、北京世源希达下程技术公司、中同标准化协会、中天道成〈苏1+1）洁净技

术有限公司、深切｜新科特种装饰了程公司。

标准主要起草人．王尧、姿字、李启东、朱兰、杨子强、蔡杰、王小兵、徐小洁、张利群、类小泉、钱菁、

蒋乃军、石小雷、姜睛湿、耿文韬、笑旅峰、程传明、苏钢民、安志墨、刘妨~、股晓冬。

l

GB/T36306-2018

引

从通风专业的角度来看空气化学污染物的特点是．

a)颗章~~定＜0.01µm通常在E0.2nm~5nm的范阁；

b）在通常状态下是以蒸汽或气体状存在；

。可以完全穿透常规高效过泼、都／超高效过滤然；

d)不能使用量盘子计数棉检il9J.

目前，空气污染控制技术主要针对微电子、光电子领域。

同商、半导体设备与材料协会的标准SEMIF21-95将空气化学污染物分成凶大类：