GB/T 25915.1-2021洁净室及相关受控环境　第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级.pdf

ICS13.040.35

ccsc70GB

中华人民共和国国家标准

GB/T25915.1-2021

代替GB/T25915.1-2010

洁净室及相关受控环境第1部分：

按粒子浓度划分空气洁净度等级

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments-Part1·Classificationofair

cleanlinessbyparticleconcentration

(ISO14644-1:2015,MOD)

2022-03-01实施

2021-08-20发布

国家市场监督管理总局串舍

国家标准化管理委员会也叩

GB/T25915.1-2021

目次

前言…………ill

引言……·V

1范围－

2规范性引用文件·

3术语和定义…··

4分级…………·………4

5符合性的证明……………5

附录AC规范性）按粒子浓度划分空气洁净度的基准方法…7

附录B（资料性）等级划分计算实例……………11

附录c（资料性）悬浮大粒子的计数和测径………17

附录D（资料性）序贯采样法…………21

附录E（资料性）非整数洁净度等级和粒径阔值的说明…27

附录FC资料性）检测仪器……·……….29

参考文献…·…….30

I

GB/T25915.1-2021

目lj~

本文件按照GB/T1.12020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第1部分。GB/T25915已经发布了以下部分：

第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级；

第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测；

第3部分：检测方法；

第4部分：设计、建造、启动；

第5部分：运行；

一一第6部分：词汇；

第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）；

第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级；

第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级；

第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级；

第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。

本文件代替GB/T25915.12010《洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级队与

GB/T25915.12010相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

a)第1章增加了粒