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ICS29.020
J09
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT5226.332017IEC60204-332009
机械电气安全机械电气设备
:
第部分半导体设备技术条件
33
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ElectricalsafetofmachinerElectricaleuimentofmachines
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Part33Reuirementsforsemiconductorfabricationeuiment
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2017-10-14发布2018-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—/:
GBT5226.332017IEC60204-332009
目次
前言…………………………Ⅶ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………3
4基本要求…………………11
4.1一般原则……………11
4.2电气设备的选择……………………11
4.3电源…………………11
4.4实际环境和运行条件………………12
4.5运输和存放…………………………12
4.6设备搬运…………………
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