GBT5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件.pdf

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ICS29.020

J09

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT5226.332017IEC60204-332009

机械电气安全机械电气设备

:

第部分半导体设备技术条件

33

——

ElectricalsafetofmachinerElectricaleuimentofmachines

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:

Part33Reuirementsforsemiconductorfabricationeuiment

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(:,——

IEC60204-332009SafetofmachinerElectricaleuimentofmachines

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Part33ReuirementsforsemiconductorfabricationeuimentIDT

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2017-10-14发布2018-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—/:

GBT5226.332017IEC60204-332009

目次

前言…………………………Ⅶ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………3

4基本要求…………………11

4.1一般原则……………11

4.2电气设备的选择……………………11

4.3电源…………………11

4.4实际环境和运行条件………………12

4.5运输和存放…………………………12

4.6设备搬运…………………

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