- 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
详解半导体器件C-V特性测试
交流C-V测试可以揭示材料的氧化层厚度,晶圆工艺的界面陷阱密度,掺杂浓
度,掺杂分布以及载流子寿命等,通常使用交流C-V测试方式来评估新工艺,
材料,器件以及电路的质量和可靠性等。比如在MOS结构中,C-V测试可以
方便的确定二氧化硅层厚度dox、衬底掺杂浓度N、氧化层中可动电荷面密度
Q1、和固定电荷面密度Qfc等参数。
C-V测试要求测试设备满足宽频率范围的需求,同时连线简单,系统易于搭建,
并具备系统补偿功能,以补偿系统寄生电容引入的误差。
进行C-V测量时,通常在电容两端施加直流偏压,同时利用一个交流信号进行
测量。一般这类测量中使用的交流信号频率在10KHz到10MHz之间。所加载
的直流偏压用作直流电压扫描,扫描过程中测试待测器件待测器件的交流电压
和电流,从而计算出不同电压下的电容值。
在CV特性测试方案中,同时集成了美国吉时利公司源表(SMU)和合作伙伴针
对CV测试设计的专用精密LCR分析仪。源表SMU可以输出正负电压,电压
输出分辨率高达500nV。同时配备的多款LCR表和CT8001直流偏置夹具,可
以覆盖100Hz~1MHz频率和正负200V电压范围内的测试范围。
方案特点:
★包含C-V(电容–电压),C-T(电容–时间),C-F(电容–频率)
等多项测试测试功能,C-V测试最多同时支持测试四条不同频率下的曲线
★测试和计算过程由软件自动执行,能够显示数据和曲线,节省时间
★提供外置直流偏压盒,最高偏压支持到正负200V,频率范围100Hz–
1MHz。
★支持使用吉时利24XX/26XX系列源表提供偏压
测试功能:
电压–电容扫描测试
频率–电容扫描测试
电容–时间扫描测试
MOS器件二氧化硅层厚度、衬底掺杂浓度等参数的计算
原始数据图形化显示和保存
MOS电容的C-V特性测试方案
系统结构:
系统主要由源表、LCR表、探针台和上位机软件组成。LCR表支持的测量频率
范围在0.1Hz~30MHz。源表(SMU)负责提供可调直流电压偏置,通过偏置夹具
盒CT8001加载在待测件上。
LCR表测试交流阻抗的方式是在HCUR端输出交流电流,在LCUR端测试电流,
同时在HPOT和LPOT端测量电压值。电压和电流通过锁相环路同步测量,可
以精确地得到两者之间的幅度和相位信息,继而可以推算出交流阻抗参数。
典型方案配置:
系统参数:
下表中参数以PCA1000LCR表和2450源表组成的C-V测试系统为例:
您可能关注的文档
- 小学生学习心得体会范文(精选9篇).pdf
- 完整版 BCFG桩地基处理施工方案.pdf
- 语文的魅力作文.pdf
- 关于提升消防救援队伍应急救援能力建设的几点思考.pdf
- 善嘉中学生物学科课程规划.pdf
- 平面设计基础试题答案.pdf
- 微积分(一)_浙江大学中国大学mooc课后章节答案期末考试题库2023年.pdf
- 测绘技术总结编制规定.pdf
- 关于中考分析作文5篇.pdf
- 《农村电商中级实战班》期末考试.pdf
- 2024年江西省寻乌县九上数学开学复习检测模拟试题【含答案】.doc
- 2024年江西省省宜春市袁州区数学九上开学学业水平测试模拟试题【含答案】.doc
- 《GB/T 44275.2-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第2部分:术语》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44275.2-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第2部分:术语.pdf
- GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构.pdf
- 《GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构.pdf
- GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南.pdf
- 《GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南》.pdf
文档评论(0)