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表国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（）
12012-7
产能（万吨/年）产品等级技术
序号生产厂家备注
合计已建在建拟建ELUPUPS来源
2011年6月已进行年产3万吨电子级氢氟酸扩建项目环境影响报告书审批前公示。在
现有0.7万吨/年的电子级氢氟酸基础上，再新建2.3万吨/年电子级氢氟酸装置。计划
于2011年新建一套1.5万吨/年电子级HF生产装置，配套建设2万吨/年的无水氟化
浙江巨化集团凯圣氢装置；2013年新建一套0.8万吨/年UP-S级HF生产装置。2012年初已发布了巨化
1.氟化学有限公司凯30.71.50.8●●●自创股份关于凯圣公司年产6000吨ppt电子级氢氟酸固定资产投资项目的投资公告。项目
恒电子材料公司采用引进技术，包括原料供应系统、HF纯化系统、稀释循环过滤系统、成品过滤系统
和成品贮槽系统等内容。项目固定资产投资8300万元，预计2012年10月建成投产。
（注：70%的ppt电子级氢氟酸主要用于LED晶圆生产，目前ppt级产品国内基本靠
进口。）
浙江蓝苏氟化有限公司由浙江蓝天环保高科技股份有限公司、苏威氟控股(亚太)有限
公司合资建立的中外合资企业，注册资金4000万元。公司于2006年11月19日开工
建设2万吨/年无水氟化氢项目，2007年9月16日投产。选址在衢州高新技术产业园
区华阳路39号。电子级氢氟酸项目引进苏威公司的先进生产技术，总投资3500万元，
其中环保投资170万元。公司于2010年4月开工建设，2011年12月投入试运行。产
浙江蓝苏氟化有限品用于太阳能行业。苏威Solvy在华氢氟酸企业。根据2012年浙江省工业转型升级
2.0.5●●●苏威
公司财政专项资金项目汇总表（衢州市区）列，项目总投资2838万元，审计后投资额1106
万元，2012年正在申请省工业转型升级财政专项资金项目补助资金64万元。项目为
年产5000吨电子级氢氟酸项目，可生产UP级、UPS级电子级氢氟酸。现有电子级氢
氟酸等级有四级（从低到高分别为AR级、EL级、UP级、UPS级），现国内自有技术
为AR级和EL级，蓝苏公司生产的电子级氢氟酸为UP级和UPS级。项目各项配套
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