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半导体芯片、晶圆、LED芯片、外延、TFT-LDE制程冷却水〔PCW〕
系统施工标准
名目
一般说明
产品.材料说明
施工说明
笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕
3
一般说明
说明
3台泵浦扬程103m75kw流量5000LPM,sus304本体,主管φ225Asus30440s保
温。缓冲水槽sus304,连接RO或DI水。过滤器sus304,5μm(标准滤材),pou7kg/c
㎡。
制程冷却水系统,供给机台16℃供给21℃回水稳定冷却水系统,冷却机台温度。
本标准适用于制程冷却水系统之设计、制造、运输、安装及测试等一般要
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