半导体芯片、晶圆、LED芯片、外延、TFT-LDE制程冷却水(PCW)系统施工规范.docx

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半导体芯片、晶圆、LED芯片、外延、TFT-LDE制程冷却水〔PCW〕

系统施工标准

名目

一般说明

产品.材料说明

施工说明

笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕

3

一般说明

说明

3台泵浦扬程103m75kw流量5000LPM,sus304本体,主管φ225Asus30440s保

温。缓冲水槽sus304,连接RO或DI水。过滤器sus304,5μm(标准滤材),pou7kg/c

㎡。

制程冷却水系统,供给机台16℃供给21℃回水稳定冷却水系统,冷却机台温度。

本标准适用于制程冷却水系统之设计、制造、运输、安装及测试等一般要

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