一种基板预对准装置及方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN102768976A

(43)申请公布日2012.11.07

(21)申请号CN201110117099.X

(22)申请日2011.05.05

(71)申请人上海微电子装备有限公司

地址201203上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号

(72)发明人杨晓青徐兵杜荣

(74)专利代理机构北京连和连知识产权代理有限公司

代理人王光辉

(51)Int.CI

H01L21/68

H01L51/56

G01B11/00

G01B11/02

G01B11/03

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种基板预对准装置及方法

(57)摘要

本发明提供了一种玻璃基板预对准

装置和方法，能够在工件台上直接实现对

玻璃基板的与对准，减少误差，该玻璃基

板预对准装置包括：图像探测及采集设

备，用于获取基板的边缘信息；工件台，

用于承载该基板；控制设备，用于控制该

工件台产生6自由度运动；该图像探测及

采集设备包括三个图像探测器，该第一图

像探测器位于该基板的第一边缘，该第

二、第三图像探测器位于该第一边缘正交

的第二边缘。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种基板预对准装置，包括：

图像探测及采集设备，用于获取基板的边缘信息；

工件台，用于承载所述基板；

控制设备，用于控制所述工件台产生6自由度运动；

其特征在于，所述图像探测及采集设备包括至少三个图像探测器，所述第一图像探

测器位于所述基板的第一边缘，所述第二、第三图像探测器位于所

述第一边缘正交的第二边缘。

2.如权利要求1所述的基板预对准装置，其特征在于，所述图像探测及采集设备还

包括一光源，所述光源发出的光束与所述图像探测器同轴。

3.如权利要求2所述的基板预对准装置，其特征在于，所述工件台上包括一反射光

学元件，所述反射光学元件的反射面与所述光束垂直。

4.如权利要求3所述的基板预对准装置，其特征在于，所述反射光学元件是一反射

镜。

5.如权利要求4所述的基板预对准装置，其特征在于，所述图像探测器是CCD照

相机。

6.如权利要求5所述的基板预对准装置，其特征在于，所述反射面大于所述CCD

照相机的成像视场。

7.一种基板预对准方法，其特征在于：

步骤一、利用一传输设备将基板放置于一工件台上；

步骤二、通过图像探测及采集设备获取基板的边缘信息，所述边缘信息包括第一边

缘的信息和与第一边缘正交的第二边缘的信息；

步骤三、根据所述边缘信息计算所述基板的偏心值和偏向值；

步骤四、根据所述偏心值和偏向值调整所述工件台的位移。

8.如权利要求7所述的基板预对准方法，其特征在于，所述步骤三具体包括：

(a)、标定所述边缘信息计算边缘点的工件台坐标并直线拟合所述边缘点；

(b)、根据所述边缘点的工件台坐标计算所述基板的拐角坐标(x，y)，根据第二边缘

的斜率计算偏向值(xsubc/sub，ysubc/sub)；

(c)、根据所述基板的长度W及宽度H，和所述拐角坐标、所述偏向值计算偏心值

θ。

9.如权利要求8所述的基板预对准方法，其特征在于，所述步骤(a)包括：所述第一

边缘的边缘点为(xsubRi/sub，

ysubRi/sub)，共nsubR/su