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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN102768976A
(43)申请公布日2012.11.07
(21)申请号CN201110117099.X
(22)申请日2011.05.05
(71)申请人上海微电子装备有限公司
地址201203上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号
(72)发明人杨晓青徐兵杜荣
(74)专利代理机构北京连和连知识产权代理有限公司
代理人王光辉
(51)Int.CI
H01L21/68
H01L51/56
G01B11/00
G01B11/02
G01B11/03
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
一种基板预对准装置及方法
(57)摘要
本发明提供了一种玻璃基板预对准
装置和方法,能够在工件台上直接实现对
玻璃基板的与对准,减少误差,该玻璃基
板预对准装置包括:图像探测及采集设
备,用于获取基板的边缘信息;工件台,
用于承载该基板;控制设备,用于控制该
工件台产生6自由度运动;该图像探测及
采集设备包括三个图像探测器,该第一图
像探测器位于该基板的第一边缘,该第
二、第三图像探测器位于该第一边缘正交
的第二边缘。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
权利要求说明书
1.一种基板预对准装置,包括:
图像探测及采集设备,用于获取基板的边缘信息;
工件台,用于承载所述基板;
控制设备,用于控制所述工件台产生6自由度运动;
其特征在于,所述图像探测及采集设备包括至少三个图像探测器,所述第一图像探
测器位于所述基板的第一边缘,所述第二、第三图像探测器位于所
述第一边缘正交的第二边缘。
2.如权利要求1所述的基板预对准装置,其特征在于,所述图像探测及采集设备还
包括一光源,所述光源发出的光束与所述图像探测器同轴。
3.如权利要求2所述的基板预对准装置,其特征在于,所述工件台上包括一反射光
学元件,所述反射光学元件的反射面与所述光束垂直。
4.如权利要求3所述的基板预对准装置,其特征在于,所述反射光学元件是一反射
镜。
5.如权利要求4所述的基板预对准装置,其特征在于,所述图像探测器是CCD照
相机。
6.如权利要求5所述的基板预对准装置,其特征在于,所述反射面大于所述CCD
照相机的成像视场。
7.一种基板预对准方法,其特征在于:
步骤一、利用一传输设备将基板放置于一工件台上;
步骤二、通过图像探测及采集设备获取基板的边缘信息,所述边缘信息包括第一边
缘的信息和与第一边缘正交的第二边缘的信息;
步骤三、根据所述边缘信息计算所述基板的偏心值和偏向值;
步骤四、根据所述偏心值和偏向值调整所述工件台的位移。
8.如权利要求7所述的基板预对准方法,其特征在于,所述步骤三具体包括:
(a)、标定所述边缘信息计算边缘点的工件台坐标并直线拟合所述边缘点;
(b)、根据所述边缘点的工件台坐标计算所述基板的拐角坐标(x,y),根据第二边缘
的斜率计算偏向值(xsubc/sub,ysubc/sub);
(c)、根据所述基板的长度W及宽度H,和所述拐角坐标、所述偏向值计算偏心值
θ。
9.如权利要求8所述的基板预对准方法,其特征在于,所述步骤(a)包括:所述第一
边缘的边缘点为(xsubRi/sub,
ysubRi/sub),共nsubR/su
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