射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法.pdfVIP

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101130855A

(43)申请公布日2008.02.27

(21)申请号CN200710072701.6

(22)申请日2007.08.24

(71)申请人哈尔滨工业大学

地址150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

(72)发明人田修波杨士勤

(74)专利代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所

代理人王吉东

(51)Int.CI

C23C14/00

C23C14/48

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

射频天线耦合细长管内表面离子注

入表面改性方法

(57)摘要

射频天线耦合细长管内表面离子注

入表面改性方法,本发明涉及细长管的内

表面离子注入表面改性方法。它克服了已

有技术在管筒与射频天线之间设置网状金

属地电极的结构所带来该技术不能应用于

管筒直径细情况的缺陷。它包括下述步

骤:需要表面改性的管筒置于密闭容器内

并把管筒接地,射频天线的一端插入密闭

容器内并且位于管筒内的中心线处;通过

射频天线向管筒内间歇性发射射频电磁

波,管筒内的气体发生电离,从而在管筒

内产生等离子体;在射频电磁波的发射间

歇期间给射频天线通以正高压脉冲,射频

天线与接地的管筒间形成高压电场,管筒

内的正离子受到高压电场的作用,飞向管

筒内壁、完成离子注入。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特征在于它包括下述步骤:

一、需要表面改性的管筒(1)置于密闭容器(2)内并把管筒(1)接地,射频天线(3)的一

端插入密闭容器(2)内并且位于管筒(1)内的中心线处;二、通过射频天线(3)向管筒

(1)内间歇性发射射频电磁波,管筒(1)内的气体发生电离,从而在管筒(1)内产生等

离子体;三、在射频电磁波的发射间歇期间给射频天线(3)通以正高压脉冲,射频

天线(3)与接地的管筒(1)间形成高压电场,管筒(1)内的正离子受到高压电场的作用,

飞向管筒(1)内壁、完成离子注入。

2.根据权利要求1所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特

征在于密闭容器(2)内填充氧气、氮气或氩气作为发生电离的气体。

3.根据权利要求1所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特

征在于步骤二和步骤三的进行过程中,管筒(1)处于绕自身轴心线转动的状态。

4.根据权利要求3所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特

征在于使管筒1旋转的管筒旋转装置包括电机(11)、联轴器(9)、小齿轮(7)、大齿轮

(14)、套体(15)、止推轴承(12)和支架(13),电机(11)的轴通过联轴器(9)固定在小齿

轮(7)的齿轮轴(8)上,齿轮轴(8)为绝缘材料,小齿轮(7)与大齿轮(14)相啮合,大齿

轮(14)的齿圈套在套体(15)的外圆表面上且与其固定,套体(15)固定在管筒(1)下端

的外圆表面上,套体(15)通过止推轴承(12)座落在支架(13)上。

5.根据权利要求1所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特

征在于射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法密闭容器(2)内充入甲烷

或乙炔气体。

6.根据权利要求1所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特

征在于管筒(1)采用Cr、Ti、Fe、Cu或Zr作为阴极材料,密闭容器(2)内填充氩气。

7.根据权利要求5所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特

征在于密闭容器(2)内填充甲烷、氧气、氮气或乙炔。

8.根据权利要求1所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特

征在于射频天线(3)的另一端连接有高压脉冲电路(4)和射频电路(5),高压脉冲电路

(4)由高压脉冲电

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